微型干涉仪论文

激光自混合干涉位相调制技术的研究
论文摘要激光自混合干涉技术（SMI）是一种新型的计量技术，从80年代开始应用于干涉测量。激光自混合干涉是指激光器的输出光被外部物体反射或散射后，其中一部分光被反馈回激光器的谐振...