微型环论文

静电驱动之微型环的稳定性分析
论文摘要微机电系统（MEMS）是一种典型的多学科交叉的新兴高技术产业，已引起了世界各国的高度重视，并成为竞相争夺的技术制高点之一。目前，静电驱动微结构力学研究主要集中在微梁、板...