微型激发源论文

微型ICP激发源微电路组件的参数优化研究
论文摘要原子发射光谱仪主要用于成分检测。激发源是其重要部件。电感耦合等离子体(InductivelyCoupledPlasma,ICP)激发源因诸多优点得到广泛应用。激发源微型...