• 基于MEMS技术的微型气相色谱系统的研究

    基于MEMS技术的微型气相色谱系统的研究

    论文摘要基于MEMS技术的微型气相色谱系统采用MEMS微加工技术,使整个系统的体积大大减小,并且具有灵敏度高,分析速度快,应用范围广,便携性好等特点,可以方便地对混合气体进行现...