微细图形论文

直接感光法BST薄膜图形制备及其性能的研究
论文摘要BST由于其良好的铁电、介电、热释电性及绿色环保性,被广泛的应用于动态随机存储器DRAM、红外传感器UFPA、非挥发性存储器FeRAM等铁电集成领域。对于铁电集成器件的...
直接感光法PLZT薄膜图形制备及其性能的研究
论文摘要锆钛酸铅镧铁电薄膜（PLZT）由于具备许多优良的铁电、介电性能、压电效应和电光效应等物理性能,被广泛的应用于动态随机存储器DRAM、非挥发性存储器FeRAM等铁电集成领...