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微细电解加工用阵列电极的侧壁绝缘研究
论文摘要电解加工(ElectrochemicalMachining,ECM)是利用阳极溶解的原理实现金属成型的。这种微溶解的材料去除方式在微细制造领域有着潜在的应用前景,但是需...