微压传感器论文

本文主要研究内容作者李闯,赵立波,王尊敬,徐留根,张磊,涂孝军（2019）在《一种航空配套微压传感器芯片设计及制备》一文中研究指出：针对航空领域微小压力测量需求,介绍了一种沟槽...