微致动器论文

基于柔性衬底的微型换能器技术
论文摘要柔性MEMS器件具有非常广泛的应用前景。本文以柔性衬底基微型换能器为研究对象，对MEMS柔性衬底技术展开研究，设计研发了气泡型微致动器和柔性触觉传感器。论文阐述了聚酰亚...