微组装论文

基于MEMS技术的硅微神经电极阵列的设计与制造
论文摘要随着神经生理学和微机电系统技术（microelectronicmechanicalsystem,MEMS）的发展,生物医学用检测仪器的微型化使其研究的范围已达到了细胞和...