论文摘要当面对更大尺寸的硅片和更小的特征尺寸器件时,硅片上温度的微小变化,所造成的温度不均匀度,就会导致产品合格率的降低,论文提出快速热退火温度均匀性的解决方案。在阐述原理的基...
本文主要研究内容作者尹小飞(2019)在《UPN型井式气体渗氮炉及其使用性能》一文中研究指出:UPN型井式气体渗氮炉主要由炉体,炉罐、监测和控制设备,及水冷系统等组成。560℃...
本文主要研究内容作者王宏宇,程奇伯,张道明,雍海泉,冯霄红(2019)在《大功率双P型燃气辐射管的实验及仿真》一文中研究指出:通过实验和仿真研究大功率双P型辐射管的温度分布,设...
本文主要研究内容作者甘甜,全晓军(2019)在《新型孔板歧管式微通道流动换热特性数值模拟》一文中研究指出:对歧管式微通道进行改进和优化,提出一种新型的孔板歧管式微通道结构(OP...
本文主要研究内容作者戴峰,倪培永,朱建新,储爱华(2019)在《改善镍氢动力电池包温度均匀性的研究》一文中研究指出:新能源汽车电池包内温度不均匀严重影响动力电池的电化学性能、循...
本文主要研究内容作者何栋,王琪,林定余,杨海仕,胡燕海(2019)在《婴儿辐射保暖台床面温度场仿真研究》一文中研究指出:目的通过数值模拟(numericalsimulation...