温度控制器论文
快速退火炉系统设计与实现
论文摘要快速退火炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺技术的飞...基于单片机的温度控制器设计与研究
论文摘要GaN系列材料在光电、能量装置等方面有着广阔的应用范围和市场前景。采用MOCVD技术进行GaN系列材料生长具有明显优势。研发具有自主知识产权的MOCVD系统具有十分重要...郭永强:A320飞机空调系统工作原理和常见故障分析论文
本文主要研究内容作者郭永强(2019)在《A320飞机空调系统工作原理和常见故障分析》一文中研究指出:现代民航客机广泛采用密闭增压舱,空调系统能为驾驶舱和客舱提供舒适的压力和温...