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行波超声电机温度特性的探索研究
论文摘要超声电机是采用压电材料驱动的不同于传统电磁电机的一种新型电机。它具有响应快、可以直接驱动、定位精度高、低速大扭矩、断电自锁、不受磁场干扰等优点,在航空航天、半导体制造、...