误差放大论文

压电陶瓷微位移驱动控制技术研究
论文摘要随着高新技术在各前沿科学技术领域中应用的不断深入,以及微定位技术的不断发展,压电陶瓷致动器越来越多地被用作驱动纳米位移台。压电陶瓷纳米位移台不仅可以用作传感器静态校准,...