无损刻蚀论文

用于嵌入式铁电存储器的集成铁电电容研究
论文摘要近年来,将铁电材料与半导体器件相结合的新器件逐渐得到广泛的应用。其中新型非挥发铁电存储器（FeRAM）与传统的EEPROM和FLASH非挥发存储器相比,具有操作电压低、...