无掩模刻蚀论文

一种低精度光刻扫描器的研究
论文摘要由于技术上的成熟以及广泛地应用,有掩模光刻技术一直都是占据着主导地位,而以电子束扫描刻蚀为代表的无掩模刻蚀技术只是应用在特殊的领域,比如高分辨率的少量的特殊器件、光刻掩...