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硅基二氧化硅光波导无源环形谐振器研究
论文摘要光波导无源环形谐振器是微型光波导陀螺的核心敏感部件,其性能直接影响陀螺的极限分辨率和各项误差,是此种陀螺的设计关键。本文提出了一种新型硅基二氧化硅光波导无源环形谐振器结...