五自由度微操作器论文

基于电热效应的新型五自由度微操作器的研究
论文摘要操作微小物体已经成为诸多领域富有挑战性的课题。而作为操作、制造、装配和检测微小物体和生物标本的最基本操作手段——微操作器受到了很多关注,关于这方面的研究已经成为一个世界...