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亚波长硅光栅应用的研究
论文摘要新近研究发现的亚波长高折射率对比光栅(HCG),不仅具有尺寸小巧、结构简单、与标准微纳加工工艺相兼容、易于与集成光路集成的优势,而且HCG呈现出了诸如偏振相关、宽带高反...