相位法探测论文

论文摘要位置敏感探测器是一种基于横向光电效应的半导体器件。它具有响应速度快、分辨率高、信号处理电路简单、环境适应性好等优点,特别适用于位移、角度、距离以及可以间接转化为光斑位置...