相位光栅论文

相位光栅对准技术研究
论文摘要随着光刻机技术水平的提高,特征线宽的尺寸减小到纳米级,对光刻机对准系统提出了更高对准精度的性能指标。本论文首先介绍了各种相位光栅对准系统的原理和特点;接着阐述对准信号以...