相位轮廓术论文

光学三坐标系统标定的研究
论文摘要随着科学技术和工业生产的发展,对表面轮廓、几何尺寸、各种模具及自由曲面的测量工作越来越多,精度也要求越来越高。传统的机械接触式测量法（如探针式）,由于存在测量时间长,需...