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基于光纤干涉投射的物体表面三维形貌测量关键技术研究
论文摘要三维曲面或三维形貌测量技术在自动检测和质量控制、反求工程、机器视觉、医学诊断、文物鉴定以及自动导航等领域中占有重要的地位,是科学分析、工业控制、生物医学以及材料科学等方...
基于白光干涉的自稳定定量相位成像技术及系统研究
论文摘要现代光学测试技术是精密与超精密测量及微纳米检测的关键技术之一,光学干涉技术是现代光学测试技术的主要方面,它具有高灵敏度、高精度、非接触性及可实现实时测量等特点,其中相位...