相移干涉论文

微纳特征结构评价与表面表征方法研究
论文摘要随着超精密加工技术加工精度的不断提高和微电子器件、MEMS制造尺寸的不断减小,纳米加工技术应时而生。计量技术与工业生产技术从来都是互相促进、相互提高的,纳米计量技术也因...
基于相移干涉法的三维表面微观轮廓测量技术的研究
论文摘要相移干涉术(PSI)作为一种光电型干涉测试技术,具有结构简单、调制方便、实时快速、高精度以及全场自动测量等优点,并且己经广泛应用于光学零件、光学系统、精密表面的检测以及...