相移控制论文

多光束激光干涉图案的相移控制方法研究
论文摘要随着微细加工行业的日益增长的需求,多种光刻技术也得到了发展,其中包括激光干涉纳米光刻技术。在激光干涉纳米光刻技术应用中,经常需要制造大面积或高密度纳米表面结构,因此,为...
有源逆变器的并联运行研究
论文摘要有源逆变器是将直流电能变为交流电能并回馈至电网,从而实现电能回收利用的装置。现代社会对电力的容量和质量的需求日益增加,在很多场合逆变器需满足大功率或大电流运行的条件。由...