相移显微干涉论文

图像拼接在相移显微干涉测量微结构表面形貌的应用研究
论文摘要随着微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS）的发展,为了进行微小结构的机械力学特性分析,或者MEMS器件的可靠性测试研究等...