显微物镜相机论文

显微-CCD-微机系统微小物体二维尺寸自动测试
论文摘要随着激光加工技术、微机械等的发展,对微小物体的非接触、高精度、自动测试的要求在不断提高。本文研制了一种测量微小物体尺寸的显微-CCD-微机系统,编写了测试程序。系统的硬...