显影论文

论文摘要本论文主要围绕金银合金纳米粒子的制备、金纳米粒子在固体基质表面的合成以及金银纳米复合薄膜的制备展开了如下工作:1.以柠檬酸钠和硼氢化钠作为还原剂,在加热回流条件下合成不...

论文摘要随着国内集成电路产业的不断快速发展,国内传统的二线芯片厂家及一些军工研究所也不断发展新工艺,扩大产能,带来了比较大的设备需求,而在涂胶显影设备方面可供选择有限,一方面国...

论文摘要紫外光固化技术具有快速、节能、高效的特点。本文创新性地将光固化基团接枝到阴极电泳涂料主体树脂上,合成了可用于紫外光固化阴极电泳涂料和电沉积光致抗蚀剂的水性光敏树脂。本文...

论文摘要本研究工作主要围绕着光敏型聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料在半导体晶圆制造过程中的应用进行展开,具体讨论了其应用机理,商品化后在晶圆制造过程中的应用制程,讨...