小孔流导论文

标准漏孔校准装置的研究与应用
论文摘要本文主要给出了利用小孔和四极质谱计建立真空标准漏孔校准装置的原理和方法。文中研究了小孔流导的基本特性，并给出了小孔流导的计算公式：提出了利用恒压法对小孔流导进行测试，对...