斜角沉积论文

论文摘要本论文系统研究了渐变折射率大角度宽波带减反射薄膜的优化设计和制备工艺。以特性矩阵计算方法为基础,采用混合遗传算法,完成了以载玻片玻璃为基底的渐变折射率减反射膜系结构的优...