吸附电压论文

支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究
论文摘要基于静电驱动与检测技术的力平衡式微加速度计具有线性度好、动态范围大、灵敏度高和可靠性强等优点。由于微加工工艺的不完善,微加速度计的实际参数与设计参数之间总是存在误差,比...