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嵌入式氧化物制备和物理性能研究
论文摘要本论文主要介绍制备SiO2基质中镶嵌Si和ZnO硅纳米晶薄膜,并对薄膜的镶嵌结构和物理性能作分析研究。为了在更微观的区域研究嵌入方式对材料结构和物理性能的影响,选择层状...