吸合现象论文

悬臂梁式微开关的动态分析研究
论文摘要静电力作为微电子机械系统(MEMS)中一种重要的驱动力,广泛应用于微镜、微钳、微开关等微器件中。尽管部分静电驱动MEMS产品已经从实验室走向商业化,但相关设计理论和设计...