吸合效应论文

基于体硅工艺的MEMS疲劳试验装置设计、分析与制备
论文摘要近年来,随着MEMS器件在医药、汽车和航空等各个领域的广泛应用,其可靠性问题引起了人们越来越多的重视。疲劳作为MEMS器件的主要失效模式,成为微机电系统可靠性领域的研究...