性能指数论文

TiO2薄膜微结构及其光电特性研究
论文摘要采用射频磁控溅射法制备了二氧化钛（TiO2）纳米薄膜，厚度约为150nm。制备出的薄膜在大气环境下进行了等时（0．5h）变温（200℃，400℃，600℃，800℃，1...