型重掺直拉硅单晶论文

论文摘要以N型重掺直拉硅单晶片为衬底的硅外延片被广泛用于集成电路以及功率器件的制造。为了提高器件的成品率,通常要求外延硅片具有内吸杂能力,这就要求作为衬底的重掺硅片在器件制造过...