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铁电薄膜在红外辐射作用下的响应及电极脱层的屈曲问题研究
论文摘要非制冷红外探测器内的铁电薄膜微桥是多层的结构体系。中间一层为智能材料,上下覆盖着金属电极,还有保护层等。如今的红外探测器内的像元数目越来越多,微桥结构也越来越小,对器件...