新型微波等离子体论文

新型MPCVD装置制备大面积金刚石膜的研究
论文摘要金刚石膜高的硬度、热导率、载流子迁移率、化学稳定性等优异的物理化学性能使其成为极具发展前景的新型材料。化学气相沉积(Chemicalvapordeposition,CV...