吸气性能论文

真空室内壁镀TiZrV吸气剂薄膜的工艺及薄膜相关性能的研究
论文摘要为了减少残余气体散射所导致的束流损失,维持较长的束流寿命,加速器储存环真空室中需要清洁的超高真空环境。储存环中超高真空的获得和维持主要是通过离散分布的真空泵（如溅射离子...