牺牲层技术论文

基于电热驱动的MEMS继电器的研制
论文摘要微电子机械系统(MEMS)是微电子、微驱动器、多数情况下还包括微传感器的集成化系统,是微电子技术与机械、光学等领域交叉融合而产生的一项新技术。MEMS及相关技术使得光、...
基于叉指式共面波导的RF MEMS开关线型移相器研究
论文摘要随着MEMS技术在射频领域的应用,产生了一个全新的研究领域——RFMEMS,它使得射频器件的微型化成为可能。RFMEMS器件不仅在体积上大大小于传统的射频器件,方便集成...
基于叉指式共面波导的RFMEMS开关线型移相器研究
论文摘要随着MEMS技术在射频领域的应用,产生了一个全新的研究领域——RFMEMS,它使得射频器件的微型化成为可能。RFMEMS器件不仅在体积上大大小于传统的射频器件,方便集成...