牺牲层论文

多晶硅纳米薄膜加速度传感器研究
论文摘要传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。在各种传感器中,硅加速度传感器是应用最为广泛的一种。MEMS技术的发展为...
红外微测辐射热计结构优化设计与制备
论文摘要红外探测器是应用于热成像的主要探测技术,在国防、航天领域具有重要的战略意义。作为当今非制冷热成像的主流技术,氧化钒（VOx）微测辐射热计焦平面成像阵列具有重量轻、成本低...