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多功能激光修调系统的研制
论文摘要随着微电子技术的蓬勃发展,各种电子类产品正以惊人的速度向小型化发展,薄厚膜混合集成电路作为微电子技术的一个重要组成部分已经运用到各类电子产品中,而激光修调系统是生产薄厚...