修整器论文

金刚石膜制备及其在机械加工领域的应用
论文摘要本论文采用直流热阴极化学气相沉积方法(DCPCVD)制备金刚石膜,研究了甲烷流量、放电电流、气体压力和基片温度等条件对金刚石膜生长速率、结晶特性的影响。从热应力角度分析...
金刚石厚膜在机械加工领域的应用
论文摘要本论文采用直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜,研究了金刚石膜的制备工艺,包括气体压力、阴极温度和极间距离同放电电压的关系,以及甲烷流量、放电电流、气体压力和基片温度等条...