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LTCC基板用MgO-Al2O3-SiO2系微晶玻璃及其流延工艺研究
论文摘要低温共烧陶瓷(LTCC)技术是近年来微电子封装技术中发展最迅速的分支,其中关键技术——LTCC基板材料的研究受到广泛关注。国外公司如DuPont、Ferro对材料关键技...