系硬质薄膜论文

本文主要研究内容作者杨晨,张钧,孙宇菲,彭立静（2019）在《ZrN系硬质膜的研究进程与展望》一文中研究指出：以ZrN硬质薄膜为基础,通过添加金属元素,可以形成多组元硬质薄膜体系。从制备方法、晶体结构、硬度、耐磨性、抗氧化性、耐腐蚀性、电气性能等方面对ZrN系硬质薄膜的发展现状进行了讨论和分析,给出...