悬臂梁阀论文

迭片式系列微型压电泵的设计理论及实验研究
论文摘要作为微机械流体系统的重要分支,压电驱动式微型泵的研究受到各国研究人员的关注。对其所开展的研究不仅具有重要的学术价值,而且在生物、制药、化学分析、电子器件冷却等领域具有广...