悬臂梁式加速度传感器论文

声表面波加速度传感器的研究
论文摘要声表面波(SurfaceAcousticWave,简写SAW)在十九世纪八十年代被英国物理学家瑞利发现,随着声表面波技术的发展,在二十世纪八十年代,人们开始利用声表面波...