悬臂型开关论文

典型光子器件和MEMS器件的有限元分析
论文摘要随着光通信网络技术的发展，对光器件性能提出了越来越高的要求，同时MEMS器件在微波、航天、航空、汽车、生物医学、环境监控等领域也发挥着越来越重要的作用，本论文采用有限元...