悬空微桥论文

微笔直写悬空微桥结构的关键技术研究
论文摘要近年来,随着现代先进制造技术的迅速发展,各种各样的新工艺新材料不断涌现,极大的推动了微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS）...