选择性腐蚀论文

基于场效应管检测的新型纳机电谐振器基础研究
论文摘要纳机电谐振器的应用十分广泛,可作为新的实验手段来研究量子物理,并可在高灵敏度传感器和射频电路等方面得到直接应用,因此得到人们广泛关注。在检测方面,随着尺寸的进一步减小,...