选择性刻蚀论文

分层电铸加工系统开发及其基础试验
论文摘要微电铸技术是近年来发展起来的一种微细加工技术。该项技术是在继承传统电铸优点的基础上,与现代集成电路工艺有机结合而形成的,是制作MEMS金属器件或结构的有效方法。而EFA...